Bei der Feinplanung werden die Ziele der Grobplanung detailiert umgesetzt. Es wird eine genaue Skizze angefertigt, welche die Punkte, die vom Roboter angefahren werden sollen, enthält. Des Weiteren werden diese Punkte in eine Liste eingetragen und zu diesen die Bewegungsart, die Geschwindigkeit und die Überschleifzone festgelegt.